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高分辨率台式扫描电镜易于掌握

高分辨率台式扫描电镜是电镜系列中***的产品，第五代放大倍数提升为150,000 倍，分辨率优于8nm，30 秒快速得到表面细节丰富的高质量图像，是目前世界上分辨率高的台式扫描电镜，可用于测量亚微米或纳米尺度的样品，继承了电镜系列高分辨率、15秒快速抽真空、不喷金观看绝缘体、全自动操作、2-3年更换灯丝及防震设计等优点。

高分辨率台式扫描电镜更加简单易用的导航模式，更加快速的操作模式；同时刻进行二次电子像和背散射电子像收集；更加***的低真空模式；全新升级的分析软件，舒适通用；从1kV-30kV同标准电镜相同的全加速电压量程；能进行生物样品和材料样品的自动设置，提高和扩大了实验室内的光学显微镜或扫描电子显微镜仪器的分辨率和景深。高分辨率台式扫描电镜预先设定方案的自动和手动控制，高真空和低真空模式，对导体和非导体样品无需进行如涂层和干燥等特殊的样品处理准备。

扫描电子显微镜的结构

扫描电子显微镜的结构

为透射电镜是TE进行成像的，这就要求样品的厚度一定要确保在电子束可以穿透的尺寸范围内。因此就需要通过各种较为繁杂的样品制备手段把大尺寸样品转变到透射电镜能给接受的程度。

　　可不可以直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像，成为科学家追求的目标。

　　通过努力，这种想法已成为现实——扫描电子显微镜(ScanningElectronicMicroscopy,SEM)。

　　扫描电子显微镜（SEM）——运用特别细的电子束在被观测样品表面上进行扫描，通过分别收集电子束和样品相互作用产生的一系列电子信息，通过转换、放大而成像的电子光学仪器。是探索研究三维表层构造很有帮助的工具。

扫描电镜之电子探针的试样要求

扫描电镜之电子探针的试样要求

具有较好的电导和热导性能

金属材料一般都有较好的导电和导热性能，而硅酸盐材料和其它非金属材料一般电导和热导都较差。后者在入射电子的轰击下将产生电荷积累，造成电子束不稳定，图像模糊，并经常放电使分析和图像观察无法进行。试样导热性差还会造成电子束轰击点的温度显著升高，往往使试样中某些低熔点组份挥发而影响定量分析准确度度。

电子束轰击试样时，只有0.5%左右的能量转变成X 射线， 其余能量大部份转换成热能，热能使试样轰击点温度升高，Castaing用如下公式表示温升△T(K):

式中V。(kV)为加速电压，i(μA)为探针电流，d(μm)为电子束直径，k 为材料热导率(Wcm-1k-1)。例如，对于典型金属(k=1 时)，当V。＝20kV，d＝1μm，i＝1μA 时，△T＝96K。 对于热导差的典型晶体，k=0.1，典型的有机化合物k=0.002。对于热导差的材料，如K=0.01, V0=30kV， i=0.1μA， d=1μm时, 由公式得ΔT=1440K。如果试样表面镀上10nm的铝膜，则ΔT减少到760K。因此, 对于硅酸盐等非金属材料必须在表面均匀喷镀一层20nm左右的碳膜、铝膜或金膜等来增加试样表面的导电和导热性能。