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反应溅射在溅射气体中加入少量的反应气体

反应溅射

在溅射气体中加入少量的反应气体如氮气，氧气，烷类等，使反应气体与靶材原子一起在衬底上沉积，对一些不易找到块材制成靶材的材料，或溅射过程中薄膜成分容易偏离靶材原成分的，都可利用此方法。

反应气体：O2，N2，NH3，CH4，H2S等

镀膜操作

将制好的样品台放在样品托内，置于离子溅射仪中，盖好顶盖，拧紧螺丝，打开电源抽真空。待真空稳定后，约为5 X10-1mmHg，按下"启动"按钮，通过调节针阀将电流调至6~8mA，开始镀金，镀金一分钟后自动停止，关闭电源，打开顶盖螺丝，放气，取出样品即可。

扫描电子显微镜的优点是什么?

扫描电子显微镜（扫描电子显微镜、扫描电镜/SEM）的基本组成部分是传输系统、电子系统、电子采集系统、观察记录系统以及相关的电子系统。那么，扫描电子显微镜的优点是什么呢？扫描电子显微镜（SEM）是介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种微观形貌扫描电子显微镜观察方法。它可以直接利用样品表面材料的材料特性进行显微成像。

扫描电子显微镜的优点是：

①放大倍数较高，20万～20万倍连续可调；

②具有大景深、大视野、立体影像，可直接观察各种样品的凹凸不平表面，精细结构；

③样品制备简单。

目前的扫描电子显微镜配备了X射线能谱仪装置，既可以观察微观结构，又可以分析微观区域的成分。因此，它是当今非常有用的科研仪器。

扫描电子显微镜(scanningelectronmicros

扫描电子显微镜（scanning electron microscope，简称扫描电镜/SEM）的基本组成是透射系统、电子系统、电子收集系统和观察记录系统，以及相关的电子系统。现在公认的扫描电镜的概念是由德国的 Knoll在1935年提出来的，1938年Von Ardenne在投射电镜上加了个扫描线圈做出了扫描透射显微镜（SEM）。

由于扫描电镜可以利用多种物理信号对样品进行综合分析，并具有直接观察较大样品、放大范围广、景深大的特点，当陶瓷材料处于不同的外部条件和化学环境时，扫描电子显微镜在其微观结构分析和研究方面也显示出很大的优势。

电子是用来产生电子的,主要有两种,一共三种

电子是用来产生电子的，主要有两种，一共三种。

一种是利用场发射效应产生电子，称为场发射电子。这种电子很昂贵，超过十万美元，并且需要不到10-10托的超高真空。 但它的使用寿命至少为1000小时，并且不需要电磁镜头系统。

另一种是利用热发射效应产生电子。有钨和六硼化镧两种。 钨的寿命在30到100小时之间，价格便宜，但图像不如其他两种明亮，通常用作廉价或标准的SEM配置。六硼化镧的寿命介于场致发射电子和钨之间。200-1000小时，价格是钨的十倍左右。图像比钨亮5-10倍，需要比钨略高。真空度一般在10-7torr以上；然而，它比钨更容易过饱和和热激发。