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扫描电子显微镜的优点是什么?

扫描电子显微镜（扫描电子显微镜、扫描电镜/SEM）的基本组成部分是传输系统、电子系统、电子采集系统、观察记录系统以及相关的电子系统。那么，扫描电子显微镜的优点是什么呢？扫描电子显微镜（SEM）是介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种微观形貌扫描电子显微镜观察方法。它可以直接利用样品表面材料的材料特性进行显微成像。

扫描电子显微镜的优点是：

①放大倍数较高，20万～20万倍连续可调；

②具有大景深、大视野、立体影像，可直接观察各种样品的凹凸不平表面，精细结构；

③样品制备简单。

目前的扫描电子显微镜配备了X射线能谱仪装置，既可以观察微观结构，又可以分析微观区域的成分。因此，它是当今非常有用的科研仪器。

扫描电子显微镜是检测样品表面形貌的大型仪器

扫描电子显微镜是检测样品表面形貌的大型仪器。当具有一定能量的入射电子束轰击样品表面时，电子与元素核和外层电子发生一次或多次弹性和非弹性碰撞。一些电子被样品表面反射，而其余电子则穿透样品逐渐失去动能，后停止运动而被样品吸收。在这个过程中，百分之99以上的入射电子能量转化为样品热能，剩余约百分之1的入射电子能量激发样品的各种信号。这些信号主要包括二次电子、背散射电子、吸收电子、透射电子、俄歇电子、电子电动势、阴极发光、X射线等。扫描电镜设备利用这些信号获取信息来分析样品。

末级透镜上有扫描线圈的功能

在末级透镜上有扫描线圈，它的功能是使电子束在样品表面扫描。由于高能电子束与试样物质的相互作用，产生各种信号（二次电子、背散射电子、吸收电子、X射线、俄歇电子等），这些信号被相应的接收，经放大器放大处理后经过运算电路处理，呈现在显示屏上。由于扫描线圈的电流与运算电路的相应偏转电流同步，因此试样表面任意点的发射信号与显示屏上的亮度一一对应。也就是说，电子束打到试样上一点时，在显示屏上就出现一个亮点。

热发射电子需要电磁透镜才能形成光束

热发射电子需要电磁透镜才能形成光束，因此电磁透镜对于使用热发射电子的SEM来说是的。通常组装两个组：

会聚透镜：顾名思义，会聚透镜使用会聚电子束，组装在真空柱中，位于电子下方。通常不止一个，并且有一组会聚光圈与之匹配。 但是，会聚透镜仅用于会聚电子束，与成像焦点无关。

物镜：物镜是真空柱底部的电磁透镜，负责将电子束的焦点会聚到样品表面。