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多孔或较疏松的样品,采用真空灌浆、镶嵌的方法

对于多孔或较疏松的样品，采用真空灌浆、镶嵌的方法使之固化后再进行研磨、抛光，即将样品放入真空容器内抽气，然后再利用大气压力将调好的胶状环氧树脂灌注，然后让其慢慢自然固化或在60~70℃的烘箱内烘烤几个小时，使之成为固化后的块体样品。这既可以提高包封的牢固性，又可以避免抛光时产生的磨料或者砂纸颗粒等次生杂物嵌入样品孔隙内引起次生污染。为减少杂物嵌入样品孔内引起次生污染，在镀膜前应把抛磨、刻蚀完后的样品放入超声清洗机中进行清洗。对于易氧化的样品，当抛磨完成后应立即超声清洗，清洗完立刻烘干，烘干之后马上镀膜，镀膜后应尽快放入台式扫描电镜样品仓中进行抽真空、做分析，以免表面被氧化或吸潮，导致镀膜层局部松懈、脱落。

扫描电子显微镜的地方,都用SEM代替

扫描电子显微镜对我们来说似乎有点陌生，但它存在于我们的生活中。我们需要进一步了解它，才能更好地利用它为人类创造价值。扫描电子显微镜由三部分组成：真空系统、电子束系统和成像系统。下面提到的扫描电子显微镜的地方，都用SEM代替。

成像系统和电子束系统均内置于真空柱中。真空柱的底部是密封室，也就是放置样品的地方。

之所以采用真空，主要基于以下两个原因：

电子束系统中的灯丝在普通大气中会很快氧化失效，所以使用SEM时除了真空外，通常还需要用纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。

为了增加电子的平均自由程，使更多的电子用于成像。

灯丝发射的热电子在2

灯丝发射的热电子在2-30KV的电压下加速，经两个聚光镜和一个物镜聚焦后，形成具有一定能量、强度和强度的入射电子束。光斑直径。在线圈产生的磁场作用下，入射电子束按一定的时间和空间顺序按光栅图案进行扫描。由于入射电子与样品的相互作用，从样品激发的二次电子被收集器收集，收集器可以收集向各个方向发射的二次电子。这些二次电子被加速射到闪烁体上，使二次电子信息转化为光信号，然后通过光管进入光电倍增管，使光信号转化为电信号。这个电信号经过视频放大器放大后输入到显像管的栅极来调制荧光屏的亮度，荧光屏上就会出现与样品对应的相同图像。当入射电子束在样品表面扫描时，二次电子发射量随样品表面的起伏（形貌）而变化。