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扫描电子显微镜(SEM)

扫描电子显微镜(SEM)是一种大型分析仪器, 它广泛应用于观察各种固态物质的表面超微结构的形态和组成。所谓扫描是指在图象上从左到右、从上到下依次对图象象元扫掠的工作过程。它与电视一样是由控制电子束偏转的电子系统来完成的, 只是在结构和部件上稍有差异而已。

在电子扫描中, 把电子束从左到右方向的扫描运动叫做行扫描或称作水平扫描, 把电子束从上到下方向的扫描运动叫做帧扫描或称作垂直扫描。两者的扫描速度完全不同, 行扫描的速度比帧扫描的速度快, 对于1000条线的扫描图象来说, 速度比为1000。

冷场发射扫描电镜是材料科学和化学领域的分析仪器

冷场发射扫描电镜是材料科学和化学领域的分析仪器，热场发射扫描电镜是物理、材料科学和能源科学技术领域的分析仪器。热场发射扫描电镜应用广泛。冷场发射扫描电镜是超显微、形貌与成分分析相结合。而热场发射扫描电镜是物理学，材料科学，能源科学技术。

扫描显微镜是介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的观察方法。它使用窄聚焦高能电子束扫描样品，通过电子束与材料之间的相互作用激发各种物理信息，并收集，放大并重新成像这些信息以表征材料的微观形态。

扫描电镜的电子光学系统能正常、稳定地工作

为了保证扫描电镜的电子光学系统能正常、稳定地工作，电子和镜筒内部都需要有很高的真空度。真空度越高，越能减少对入射电子的散射，并能延长电子阴极的寿命，还会降低高压电极间的放电、打火和对电子束通道的污染。

目前，电镜真空系统佳的搭配是采用干泵（无油机械泵与涡轮分子泵的组合）来抽真空，这种搭配可以大大降低真空系统中的残余气体和反流的油蒸气形成的碳氢聚合物对试样表面的污染。