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发布时间:2022-03-20 04:50:21
扫描电镜喷金前需要喷金的类样品
扫描电镜喷金几乎可以对所有类型的样本进行图像处理,陶瓷、金属、合金、半导体、聚合物、生物样品等。然而,某些特定类型的样品更具有挑战性,并且需要操作者进行额外的样品制备,以便借助扫描电镜喷金收集高质量图片。这些额外的步骤包括在样品中表面溅射一个额外的导电薄层材料,如金、银、铂或铬等。
使用扫描电镜喷金前需要喷金的类样品是电子束敏感样品。这类样品主要是生物样品,但也可能是其他种类,例如塑料材料。扫描电镜喷金中的电子束具有较高能量,在与样品的相互作用过程中,它以热的形式将部分能量传递给样品。如果样品是由电子束敏感的材料制成,那么,这种相互作用会***部分甚至整个样品结构。在这种情况下,用一种非电子束敏感材料制成的表面镀层就可以起到保护层作用,防止此类损伤。
离子溅射镀膜原理及特点
离子溅射镀膜
原理:
离子溅射镀膜是在部分真空的溅射室中辉光放电,产生正的气体离子;在阴极(靶)和阳极(试样)间电压的加速作用下,荷正电的离子轰击阴极表面,使阴极表面材料原子化;形成的中性原子,从各个方向溅出,射落到试样的表面,于是在试样表面上形成一层均匀的薄膜。
特点:
对于任何待镀材料,只要能做成靶材,就可实现溅射(适合制备难蒸发材料,不易得到高纯度的化合物所对应的薄膜材料);
溅射所获得的薄膜和基片结合较好;
消耗少,每次仅约几毫克;
溅射工艺可重复性好,膜厚可控制,同时可以在大面积基片上获得厚度均匀的薄膜。
反应溅射在溅射气体中加入少量的反应气体
反应溅射
在溅射气体中加入少量的反应气体如氮气,氧气,烷类等,使反应气体与靶材原子一起在衬底上沉积,对一些不易找到块材制成靶材的材料,或溅射过程中薄膜成分容易偏离靶材原成分的,都可利用此方法。
反应气体:O2,N2,NH3,CH4,H2S等
镀膜操作
将制好的样品台放在样品托内,置于离子溅射仪中,盖好顶盖,拧紧螺丝,打开电源抽真空。待真空稳定后,约为5 X10-1mmHg,按下"启动"按钮,通过调节针阀将电流调至6~8mA,开始镀金,镀金一分钟后自动停止,关闭电源,打开顶盖螺丝,放气,取出样品即可。
纳米材料的所有性主要源于其纳米尺寸
纳米材料是纳米科学技术基本的组成部分,只有几纳米的"粒子"可以通过物理、化学和生物方法制备。纳米材料应用广泛。例如,陶瓷材料一般具有硬度高、耐磨、耐腐蚀等优点。纳米陶瓷还可以在一定程度上增加韧性,改善脆性。纳米级、纳米级等新型陶瓷纳米材料也是一个重要的应用领域。纳米材料的所有性主要源于其纳米尺寸。因此,要准确知道其尺寸,否则纳米材料的研究和应用将失去基础。纵观目前国内外的研究现状和成果,该领域的检测方法和表征方法可采用透射电子显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜等技术,但高分辨率扫描电子显微镜的观察和尺寸检测由于其简单性和可操作性的优点而被广泛使用。
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