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扫描电子显微镜(SEM)之样品处理的要求

扫描电子显微镜（SEM）之样品处理的要求

1、形貌形态，须耐高真空。

例如有些含水量很大的细胞，在真空中很快被抽干水分，细胞的形态也发生了改变，无法对各类型细胞进行区分；

2、样品表面不能含有有机油脂类污染物。

油污在电子束作用下容易分解成碳氢化物，对真空环境造成很大污染。样品表面细节被碳氢化合物遮盖；碳氢化合物降低了成像信号产量；碳氢化合物吸附在电子束光路引起很大象散；碳氢化合物被吸附在探测器晶体表面，降低探测器效率。对低加速电压的电子束干扰严重。

3、样品须为干燥。

水蒸气会加速电子阴极材料的挥发，从而大降低灯丝寿命；水蒸气会散射电子束，增加电子束能量分散，从而加大色差，降低分辨能力。

热发射电子需要电磁透镜才能形成光束

电磁透镜

热发射电子需要电磁透镜才能形成光束，因此电磁透镜对于使用热发射电子的SEM来说是的。通常组装两个组：

会聚透镜：顾名思义，会聚透镜使用会聚电子束，组装在真空柱中，位于电子下方。通常不止一个，并且有一组会聚光圈与之匹配。 但是，会聚透镜仅用于会聚电子束，与成像焦点无关。

物镜：物镜是真空柱底部的电磁透镜，负责将电子束的焦点会聚到样品表面。

扫描电镜的结构及工作原理

台式扫描电镜与传统的大型扫描电子显微镜相比，台式扫描电子显微镜具有体积小、操作简单、价格低廉、抽真空速度快等优点。台式扫描电子显微镜的分辨率可以满足大多数材料的显微观察。台式扫描电镜填补了光学显微镜与传统大型扫描电镜之间的分辨率的空白，可广泛应用于材料科学、纳米粒子、生物***、食品、纺织纤维、地质科学等诸多领域。接下来泽攸小编将主要介绍一下扫描电镜的结构及工作原理。

扫描电子显微镜是检测样品表面形貌的大型仪器。当具有一定能量的入射电子束轰击样品表面时，电子与元素核和外层电子发生一次或多次弹性和非弹性碰撞。一些电子被样品表面反射，而其余电子则穿透样品,逐渐失去动能，在Z后停止运动，被样品吸收。在这个过程中，99%以上的入射电子能量转化为样品热能，剩余约1%的入射电子能量激发样品的各种信号。如图1所示，这些信号主要包括二次电子、背散射电子、吸收电子、透射电子、俄歇电子、电子电动势、阴极发光、X射线等。扫描电子显微镜设备使用这些信号来获取信息来分析样品。

为什么台式扫描电镜这么受欢迎?

首先台式扫描电镜体积小，操作简单，分辨率高，成像快，占空间小，方便移动，台式扫描电镜就像电脑主机一样大小，也被称为桌面扫描电镜。很多的学校的电镜中心都是大电镜，大电镜确实也有大电镜的好处，但是大电镜使用起来没有台式扫描电镜方便，主要大电镜还占地方，使用起来打个申请，不知道何时能论到自己，然而台式扫描电镜就不同了，台式扫描电镜可以多备几台，使用方便，更便于管理。

所以这就是为什么科研单位或是学校都喜欢采购台式扫描电镜的原因，台式扫描电镜，也能满足测量需求。