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发布时间:2022-01-28 03:17:33
台式扫描电镜观察试样区域细节
试样在样品室中可动的范围非常大,而显微镜在其它方面的工作距离通常只有2-3cm,因此实际上,只有试样可以在二维空间中移动,但在台式扫描电子显微镜中是不同的由于工作距离大(可能大于20 mm)焦深大(比TEM大10倍)样品室的空间也很大因此,试样在三维空间(即三维平移、三维旋转)可以有六个自由度的运动而且具有较大的活动范围,便于观察不规则形状样品的各个区域。
装上波长色散X射线谱仪(WDX)或能量色散
可进行综合分析。装上波长色散X射线谱仪(WDX) 或能量色散X射线谱仪 (EDX) , 使具有电子探针的功能, 也能检测样品发出的反射电子、X射线、阴极荧光、透射电子、俄歇电子等。把扫描电镜扩大应用到各种显微的和微区的分析方式, 显示出了扫描电镜的多功能。另外, 还可以在观察形貌图象的同时, 对样品任选微区进行分析;装上半导体试样座附件, 通过电动势象放大器可以直接观察晶体管或集成电路中的PN结和微观缺陷。由于不少扫描电镜电子探针实现了电子计算机自动和半自动控制, 因而大大提高了定量分析的速度。
扫描电子显微镜类型多样
扫描电子显微镜类型多样, 不同类型的扫描电子显微镜存在性能上的差异。根据电子种类可分为三种:场发射电子、钨丝和六硼化镧 。其中, 场发射扫描电子显微镜根据光源性能可分为冷场发射扫描电子显微镜和热场发射扫描电子显微镜。冷场发射扫描电子显微镜对真空条件要求高, 束流不稳定, 发射体使用寿命短, 需要定时对针尖进行清洗, 仅局限于单一的图像观察, 应用范围有限;而热场发射扫描电子显微镜不仅连续工作时间长, 还能与多种附件搭配实现综合分析。
现场发射镜是一种电子显微镜
现场发射镜是一种电子显微镜。广泛应用于生物学、***、金属材料、聚合物材料、化工原料、地质矿物、商品检验、产品生产质量控制、宝石鉴定、考古鉴定和调查物证分析。可观察和检测上述微米和纳米样品的非均相有机材料、无机材料和表面特征。热场和冷场的共性是分辨率高。热场束流较大,适合分析,但维护成本相对较高,维护要求较高。冷场适合表面外观观测,维护成本相对较低,维护要求不高。
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