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扫描电子显微镜(SEM)之样品导电膜的制备技术

扫描电子显微镜（SEM）之样品导电膜的制备技术

理想膜层的特点

良好的导热和导电性能。

在3-4nm分辨率尺度内不显示其几何形貌特点，避免引入不必要的人为图像。

不管样品的表面形貌如何，覆盖在所有部位的膜层需要薄厚均匀。

膜层对样品明显的化学成分产生干扰，也不显着的改变从样品中发射的X射线强度。

这层膜主要增加样品表面的导电性能和导热性能，导电金属膜层的厚度普遍电位在1-10nm。

导电膜制备技术

在样品表面形成薄膜有多种方法，对于扫描电镜和X射线显微分析，只有热蒸发和离子溅射镀膜实用。

蒸发镀膜：许多金属和无机绝缘体在真空中被某种方法加热，当温升足够高蒸发气压达到1.3Pa以上时，就会迅速蒸发为单原子。

为什么台式扫描电镜这么受欢迎?

首先台式扫描电镜体积小，操作简单，分辨率高，成像快，占空间小，方便移动，台式扫描电镜就像电脑主机一样大小，也被称为桌面扫描电镜。很多的学校的电镜中心都是大电镜，大电镜确实也有大电镜的好处，但是大电镜使用起来没有台式扫描电镜方便，主要大电镜还占地方，使用起来打个申请，不知道何时能论到自己，然而台式扫描电镜就不同了，台式扫描电镜可以多备几台，使用方便，更便于管理。

所以这就是为什么科研单位或是学校都喜欢采购台式扫描电镜的原因，台式扫描电镜，也能满足测量需求。

扫描电子显微镜(scanningelectronmicros

扫描电子显微镜（scanning electron microscope，简称扫描电镜/SEM）的基本组成是透射系统、电子系统、电子收集系统和观察记录系统，以及相关的电子系统。现在公认的扫描电镜的概念是由德国的 Knoll在1935年提出来的，1938年Von Ardenne在投射电镜上加了个扫描线圈做出了扫描透射显微镜（SEM）。

在陶瓷的制备过程中，原始材料及其制品的微观形貌、孔径、晶界和团聚程度将决定其性能。扫描电子显微镜可以清楚地反映和记录这些微观特征。是一种方便、简便、有效的观察和分析样品微观结构的方法。样品无需制备，放入样品室即可直接放大观察；同时，扫描电子显微镜可以实现测试。