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发布时间:2021-12-14 04:55:26
扫描电子显微镜应用微观结构分析
扫描电子显微镜应用
微观结构分析
在陶瓷的制备过程中,原始材料及其制品的微观形貌、孔径、晶界和团聚程度将决定其性能。扫描电子显微镜可以清楚地反映和记录这些微观特征。是一种方便、简便、有效的观察和分析样品微观结构的方法。样品无需制备,放入样品室即可直接放大观察;同时,扫描电子显微镜可以实现测试。对于样品从低倍到高倍的***和分析,样品室中的样品不仅可以沿三维空间移动,还可以根据观察需要在空间中旋转,便于连续、系统地进行用户对感兴趣的部分进行观察和分析。扫描电镜拍摄的图像真实、清晰、立体感十足,已广泛应用于新型陶瓷材料三维微观结构的观察和研究。
由于扫描电镜可以利用多种物理信号对样品进行综合分析,并具有直接观察较大样品、放大范围广、景深大的特点,当陶瓷材料处于不同的外部条件和化学环境时,扫描电子显微镜在其微观结构分析和研究方面也显示出很大的优势。
热发射电子需要电磁透镜才能形成光束
电磁透镜
热发射电子需要电磁透镜才能形成光束,因此电磁透镜对于使用热发射电子的SEM来说是的。通常组装两个组:
会聚透镜:顾名思义,会聚透镜使用会聚电子束,组装在真空柱中,位于电子下方。通常不止一个,并且有一组会聚光圈与之匹配。 但是,会聚透镜仅用于会聚电子束,与成像焦点无关。
物镜:物镜是真空柱底部的电磁透镜,负责将电子束的焦点会聚到样品表面。
扫描电子显微镜SEM参数
扫描电子显微镜SEM 基本参数
放大率:通过控制扫描区域的大小来控制放大率的。如果需要更高的放大率,只需要扫描更小的一块面积就可以了。放大率由屏幕/照片面积除以扫描面积得到
场深:扫描电子显微镜SEM中,位于焦平面上下的一小层区域内的样品点都可以得到良好的会焦而成象。这一小层的厚度称为场深,通常为几纳米厚,所以,SEM可以用于纳米级样品的三维成像。
工作距离:工作距离指从物镜到样品高点的垂直距离。
如果增加工作距离,可以在其他条件不变的情况下获得更大的场深。
如果减少工作距离,则可以在其他条件不变的情况下获得更高的分辨率。
通常使用的工作距离在5毫米到10毫米之间
台式扫描电镜进行动态观察
在台式扫描电子镜中,成像信息主要是电子信息根据现代电子工业的技术水平,即使是高速变化的电子信息,也能不费吹灰之力地及时接收、处理和储存因此,可以进行一些动态过程观测如果样品室配有加热、冷却、弯曲、拉伸和离子刻蚀附件,则可通过电视装置观察相变和断裂强度的动态变化过程。
台式扫描电镜观察试样表面形貌
从试样表面形貌获得多方面资料,不仅可以利用入射电子与样品相互作用产生的信息进行成像,还可以通过信号处理方法获得各种图像的特殊显示方法,从样品的表面形貌中获得各种信息由于扫描电子图像不是同时记录的,它是由近百万条记录逐个组成的因此,除了观察其表面形貌外,SEM还可以分析其成分和元素通过电子通道花样进行结晶学分析,选择的面积大小可以在10μm到3μm之间。
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