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发布时间:2021-12-11 06:33:41
扫描电镜优势主要表现在
扫描电镜优势主要表现在: 扫描电子显微镜是检测样品表面形貌的大型仪器。当具有一定能量的入射电子束轰击样品表面时,电子与元素核和外层电子发生一次或多次弹性和非弹性碰撞 (1) 机械载荷作用下的微观动力学(裂纹扩展)研究; (2) 加热条件下晶体合成、气化和聚合的研究; (3) 晶体生长机理、生长步骤、缺陷和位错的研究; (4) 晶体非均匀性、壳核结构、包络结构的成分研究; (5) 化学环境等中晶粒相组成差异的研究。
金属和陶瓷样品形貌观察的去除
金属和陶瓷样品
形貌观察
的去除油污以避免碳氢化合物的污染。超声波清洗机:溶剂为 、乙醇、等。溶剂不危害样品表面形貌完整性是非常重要的。
确定样品污染方法:在很高的放大倍数下观察样品,然后降低放大倍数(扫描电镜为齐焦系统,高倍聚焦清楚,在低的倍数下不离焦),如果有污染,在低倍会观察到原来高倍的扫描区域有明显黑色痕迹。污染物沉积的速率和电子束照射区域的剂量有关,由于越高的放大倍数,相同扫描时间内样品单位面积电子束照射剂量越大。
绝缘样品需要喷镀导电膜:真空蒸发镀膜技术和离子溅射镀膜技术。实现导电,导热,很大程度上增加二次电子发率。
扫描电镜SEM
扫描电镜SEM:电子束到达样品,激发样品中的二次电子,二次电子被探测器接收,通过信号处理并调制显示器上一个像素发光,由于电子束斑直径是纳米级别,而显示器的像素是100微米以上,这个100微米以上像素所发出的光,就代表样品上被电子束激发的区域所发出的光。实现样品上这个物点的放大。如果让电子束在样品的一定区域做光栅扫描,并且从几何排列上一一对应调制显示器的像素的亮度,便实现这个样品区域的放大成像。具体图像反差形成机制不讲。由于扫描电镜所观察的样品表面很粗糙,一般要求较大工作距离,这就要求扫描电镜物镜的焦距比较长,相应的相差系数较大,造成小束斑尺寸下的亮度限制,系统的空间分辨率一般比透射电镜低得多1-3纳米。但因为物镜焦距较长,图像景深比透射电镜高的多,主要用于样品表面形貌的观察,无法从表面揭示内部结构,除非***样品,例如聚焦离子束电子束扫描电镜FIB-SEM,可以层层观察内部结构。
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