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全自动扫描电镜是工业发展的***科技

全自动扫描电镜由电子枪和电磁透镜两部分组成，主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成像，热发射电子需要电磁透镜来成束，所以在用热发射上，电磁透镜*。

全自动扫描电镜通常会装配两组：汇聚透镜：顾名思义，汇聚透镜用汇聚电子束，装配在真空柱中，位于电子枪之下。通常不止一个，并有一组汇聚光圈与之相配。但汇聚透镜仅仅用于汇聚电子束，与成像会焦无关 。物镜：物镜为真空柱中下方的一个电磁透镜，它负责将电子束的焦点汇聚到样品表面。

电子经过一系列电磁透镜成束后，打到样品上与样品相互作用，会产生次级电子、背散射电子以及X射线等一系列信号，所以需要不同的探测器譬如次级电子探测器、X射线能谱分析仪等来区分这些信号以获得所需要 的信息，虽然X射线信号不能用于成像，但习惯上，仍然将X射线分析系统划分到成像系统中。与普通光学显微镜不同，在全自动扫描电镜中，是通过控制扫描区域的大小来控制放大率的，如果需要更高的放大率，只需 要扫描更小的一块面积就可以了。放大率由屏幕/照片面积除以扫描面积得到。

扫描电子显微镜对样品的要求

扫描电子显微镜对样品的要求：

　　首先一点，不会被电子束分解；

　　其次第二点，在电子束扫描下热稳定性要好；

　　第三点，可以提供导电还有导热通道；

　　第四点，大小和厚度要适合使用于样品台的安装

　　第五点，观察面应该清洁并且无污染物；

　　第六点，进行微区成分分析的表面应该平整；

　　第七点，磁性试样要预先去磁，是为了避免观察的时候电子束受到磁场的影响。

扫描电镜和透射电镜的区别

扫描电镜和透射电镜的工作原理

从相似点开始, 这两种设备都使用电子来获取样品的图像。他们的主要组成部分是相同的;

· 电子源;

· 电磁和静电透镜控制电子束的形状和轨迹;

现在转向这两种设备的差异性。 扫描电镜（SEM）使用一组特定的线圈以光栅样式扫描样品并收集散射的电子（ 详细了解SEM中检测到的不同类型的电子 ）。

而透射电镜（TEM）是使用透射电子，收集透过样品的电子。 因此，透射电镜（TEM）提供了样品的内部结构，如晶体结构，形态和应力状态信息，而扫描电镜（SEM）则提供了样品表面及其组成的信息。