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扫描电镜的结构是什么?

扫描电镜的结构

扫描电镜是针对台式电镜设计的，本着台式电镜简单易用，利用半导体制冷，无需额外冷却系统，是一款具有处理所有类型材料能力的分析仪器，可以提供成像质量，配备X射线能谱仪接口，并有X射线几何设计，可对所有样品进行分析，对于非导体采用电子束衬管技术也提高了图像质量和分析精度。

　　扫描电镜***的X射线几何结构以及标配能谱仪和波谱仪，可变电压功能用于分析较少制备的非接触式样品，可移动的显微镜样品台用于观察大型样品，是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。扫描电镜的结构包括电子光学系统、图像显示和记录系统、真空系统、X射线能谱分析系统。

台式扫描电镜符合工艺要求

台式扫描电镜基于新一代高亮度灯丝和全新的聚焦系统，分辨率轻松达到10 nm，同时具有全自动操作、15秒快速抽真空、不喷金观看绝缘体、2-3年更换灯丝等特点。传统电镜往往通过提高加速电压来产生更高的信号，同时由于穿透深度较深，导致表面细节缺失。低加速电压电子穿透深度浅，避免样品被***，展现更多表面细节；探测背散射电子，展现清晰形貌结构的同时，提供丰富的成份信息。

台式扫描电镜是扫描电镜能谱行业的一个里程碑，亮度10倍于钨灯丝的灯丝，不仅成为*分辨率的台式扫描电镜，同时也使X射线能谱仪提供更加准确、快速的元素分析。台式扫描电镜的背散射图像，首先从视觉上用不同的灰度呈现不同的元素，进一步利用SDDX射线探测器，就能轻松确认不同灰度区域元素的名称和含量，提供5-95号元素的点扫描，线扫描和面扫描三种分析模式。

扫描电子显微镜的显示优势

扫描式电镜的电子和聚光镜与透射式电镜的大致相同，但是为了使电子束更细，在聚光镜下又增加了物镜和消像散器；在物镜内部还装有两组互相垂直的扫描线圈。物镜下面的样品室内装有可以移动、转动和倾斜的样品台。

　　由于扫描电子显微镜可用多种物理信号对样品进行综合分析，并具有可以直接观察较大试样、放大倍数范围宽和景深大等特点，当陶瓷材料处于不同的外部条件和化学环境时，扫描电子显微镜在其微观结构分析研究方面同样显示出极大的优势。主要表现为：

　　⑴力学加载下的微观动态（裂纹扩展）研究；

　　⑵加热条件下的晶体合成、气化、聚合反应等研究；

　　⑶晶体生长机理、生长台阶、缺陷与位错的研究；

　　⑷成分的非均匀性、壳芯结构、包裹结构的研究；