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扫描电镜的结构是什么?

扫描电镜的结构

扫描电镜是针对台式电镜设计的，本着台式电镜简单易用，利用半导体制冷，无需额外冷却系统，是一款具有处理所有类型材料能力的分析仪器，可以提供成像质量，配备X射线能谱仪接口，并有X射线几何设计，可对所有样品进行分析，对于非导体采用电子束衬管技术也提高了图像质量和分析精度。

　　扫描电镜***的X射线几何结构以及标配能谱仪和波谱仪，可变电压功能用于分析较少制备的非接触式样品，可移动的显微镜样品台用于观察大型样品，是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。扫描电镜的结构包括电子光学系统、图像显示和记录系统、真空系统、X射线能谱分析系统。

扫描电子显微镜的原理介绍

　　扫描电子显微镜的原理介绍： 　　扫描电子显微镜是一种利用高能聚焦电子束扫描样品表面，从而获得样品信息的电子显微镜。因此其使用电子束为照明源，电子束在样品表面扫描，利用电子还有物质作用所产生的信息结合电子光学原理进行成像。判断扫描电镜性能主要根据分辨率还有有效放大倍数。分辨率也就是可以分辨的小距离。 扫描电子显微镜(SEM)是一种介于透射电子显微镜与光学显微镜之间的一种观察手段。它是运用聚焦十分窄的高能电子束来扫描样品，通过光束合物质间的相互作用，来激发各种物理信息，对这些信息收集、放大还有再成像为了达到对物质微观形貌表征的目的。

扫描电子显微镜的结构:

扫描电子显微镜的结构：

　　扫描电子显微镜是由三大部分组合而成的：真空系统，电子束系统还有成像系统。

　　1.真空系统，主要包含真空泵以及真空柱这两部分。真空柱是一个密封的柱形容器，真空泵则用来在真空柱内产生真空。

　　2.电子束系统，电子束系统主要是由电子以及电磁透镜这两部分组合而成，主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成像。电子用于产生电子，主要有利用场致发射效应产生电子还有利用热发射效应产生电子两种。

　　3.成像系统，电子通过一系列电磁透镜成束之后，打到样品上和样品相互作用，会产生次级电子、背散射电子、欧革电子还有X射线等一系列信号。因此需要不同的探测器比方说次级电子探测器、X射线能谱分析仪等来区分这些信号为了获得所需要的信息。

扫描电镜基本操作

需要熟悉的扫描电镜基本操作

基本操作包括熟练的调节对焦和消像散。对焦相对容易，改变焦距，直至图像清楚的时刻即为合焦。在偏离焦距较多的时候可以用较高的灵敏度，在合焦点附近调低灵敏度，以便进行准确对焦。

基本操作中消像散相对来说比较麻烦，特别是像散很大时，对于很多初学者来说调节比较困难。不过前面已经介绍了像散的产生，电子束由于不再是圆形，所以在像散未消除的情况下，图像是不清晰的。不过其中有两个特殊的位置，即光学中的子午和弧矢，在这两个位置上束斑完全成正交的直线。而明晰圆一般在弧矢和子午的中间。

有关拉伸方向的判断并不困难，试样中的各种特征点都可以作为判断依据，尤其在像散比较大时，不要焦距和像散的两个维度乱调一气，以免像散过大而完全无从判断。